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產品詳情 / Product Details位置: 首頁 > 亿万先生產品 > YTC1100光伏級單晶爐

YTC1100光伏級單晶爐

主要性能指標


爐室資料Puller Data
坩堝直徑Crucible diameter:22"- 28"
單晶直徑Crystal diameter:8"- 12"
裝料量Charge size:350 kg
喉管直徑Throat Diameter:14 "(356mm)
直徑偏差率:Diameter deviation rate:1.5 mm
主爐膛內徑Main furnace Diameter:Φ1100 mm
主爐膛高度Main furnace Height:1450 mm(上1050 mm,下400 mm)
漏率:≤10 mtorr/hour
冷爐極限真空度:≤23 mtorr
全自動長晶過程:
最大拉晶長度:≤3600 mm
排氣方式Exhaust:底排氣Exhaust end
AR進氣介面:1.喉部兩側  2.副爐室上方
Ar流量控制:MFC 4-200 slpm


坩堝驅動單位Crucible drive unit
提升速度Lifting speed:0-10 in/hr (0-254 mm/hr)
最快提升速度Crucible Jog Speed:2.0 in/min (50.8 mm/min)
行程Stroke:19"(480 mm)
轉速Rotation speed:0-20 rpm


晶驅動單位 Crystal drive unit
提升速度Lifting speed:0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
快速提升速度Seed Jod Speed:20 in/min (508 mm/min)
轉速Rotation speed:0-50 rpm


廠務要求Utilities
電源電壓(Source Voltage):380 V±10%
頻率(Frequency):50/60 Hz
加熱功率(Heating Power):160 KW底部加熱50 KW
環境溫度(Ambient Temperature):5~40
相對濕度(Relative Humidity):<70%
入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature):77°F (25℃)      
最小流量(Minimum Flow Rate):78 gpm (295 l/min) total
入口出口壓力差(Diff. Supply Pressure):30 psi (2.1 kg/cm2)  
主氬氣流量(Mass Flow Control(Max.):200 slpm
吹掃流量(Purge Flow):100 slpm
合計(Facility Total):300 slpm
推薦壓力Recommended Supply Pressure:75 psi (5.3 kg/ cm2)
壓縮空氣(Air)
推薦壓力Recommended Supply Pressure:90psi (6.3 kg/ cm2)


控制系統System Control
自動過程Automatic process
標準PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard


外形尺寸Dimensions(approx.)
總高度 (closed):8632mm
寬 Width (W):1580mm
深 Depth (D):2060mm